Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / МГУ им. М. В. Ломоносова, физич. фак.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Лихарев, С. К. (род. 1964) |
Опубликовано: | М. , 1990 |
Физические характеристики: |
14 с.
|
Язык: | Русский |
00000cam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr14432070000 | ||
005 | 20230728143115.0 | ||
100 | # | # | $a 20070320d1990 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.04) $f МГУ им. М. В. Ломоносова, физич. фак. |
210 | # | # | $a М. $d 1990 |
215 | # | # | $a 14 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 13-14 (12 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $3 BY-NLB-ar14390847 $a Лихарев $b С. К. $g Сергей Константинович $c кандидат физико-математических наук $f род. 1964 |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070320 $g psbo |