Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / МГУ им. М. В. Ломоносова, физич. фак.

Сохранено в:
Шифр документа: 161811/90,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лихарев, С. К. (род. 1964)
Опубликовано: М. , 1990
Физические характеристики: 14 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr14432070000
005 20230728143115.0
100 # # $a 20070320d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.04)  $f МГУ им. М. В. Ломоносова, физич. фак. 
210 # # $a М.  $d 1990 
215 # # $a 14 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 13-14 (12 назв.) 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar14390847  $a Лихарев  $b С. К.  $g Сергей Константинович  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1964 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070320  $g psbo