Исследование процессов роста и легирования эпитаксиальных слоев карбида кремния, выращиваемых из газовой фазы: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ269839,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лилов, С. К.
Опубликовано: Л. , 1975
Физические характеристики: 26 с. : граф.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr14325820000
005 20070320173452.0
021 # # $a RU  $b [75-17738а] 
100 # # $a 20070320d1975 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование процессов роста и легирования эпитаксиальных слоев карбида кремния, выращиваемых из газовой фазы  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук  $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) 
210 # # $a Л.  $d 1975 
215 # # $a 26 с.  $c граф. 
300 # # $a Перед загл. авт.: Лилов, Станислав Кръстев 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Лилов  $b С. К.  $g Станислав Крыстев 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070320  $g psbo