|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr14302510000 |
| 005 |
20200104125229.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-230-08913-X
$d 15 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-72628]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070320d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология и автоматизация производства полупроводниковых приборов и интегральных схем
$e Учеб. пособие
$f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 62 с.
$c ил., табл.
$d 20 см.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 61 (8 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегр. - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002](075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ливенцева
$b И. Ф.
$g Ирина Филоменовна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Радченко
$b Л. А.
$g Леонид Андрианович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070320
$g psbo
|
