Исследование и разработка технологического процесса получения микроизображений СБИС методом сканирующей электронной литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лернер, Л. М. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14248670000 | ||
| 005 | 20220113141954.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070320d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка технологического процесса получения микроизображений СБИС методом сканирующей электронной литографии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-22 (16 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лернер $b Л. М. $g Лев Моисеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070320 $g psbo |