Разработка и исследование технологии низкотемпературного синтеза диэлектрических слоев в проточном реакторе пониженного давления с плазменной активацией безэлектродным ВЧ разрядом: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кучаидзе, Г. В. |
| Опубликовано: | Каунас , 1988 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||