Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов ¹¹B, ³¹P, ⁷⁵As, ¹²²Sb с энергией 1-10 КЭВ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кусаинов, Ж. А. |
| Опубликовано: | Алма-Ата , 1984 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||