Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов ¹¹B, ³¹P, ⁷⁵As, ¹²²Sb с энергией 1-10 КЭВ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ483422,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кусаинов, Ж. А.
Опубликовано: Алма-Ата , 1984
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr13724370000
005 20070313144538.0
100 # # $a 20070313d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a KZ 
200 1 # $a Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов ¹¹B, ³¹P, ⁷⁵As, ¹²²Sb с энергией 1-10 КЭВ  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.07) 
210 # # $a Алма-Ата  $d 1984 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН КазССР, Ин-т ядер. физики. Библиогр.: с. 17-18 (9 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Кусаинов  $b Ж. А.  $g Жетен Акрамович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070313  $g psbo