Распределенные системы управления на базе микро-ЭВМ "Электроника НЦ" для гибких автоматизированных линий производства интегральных схем: (Принципы построения, техн. средства и програм. обеспеч.) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.05 ; 05.13.01) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кузнецов, М. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
58 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13431650000 | ||
| 005 | 20070303131659.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070303d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Распределенные системы управления на базе микро-ЭВМ "Электроника НЦ" для гибких автоматизированных линий производства интегральных схем $e (Принципы построения, техн. средства и програм. обеспеч.) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.13.05 ; 05.13.01) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 58 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 41-46 (48 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.05 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.13.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кузнецов $b М. Н. $g Михаил Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070303 $g psbo |