Измерение толщины тонких пленок методом рентгеноструктурного анализа / К. А. Кузнецов

Сохранено в:
Вид документа: Продолжающиеся издания
Автор: Кузнецов, К. А.
Опубликовано: Москва : НИАТ , 1980
Физические характеристики: 23, [1] с. : граф., схемы, табл. ; 29 см
Язык: Русский
Серия: Труды Института № 395
00000cam2a22000001ij4500
001 BY-NLB-rr13428090000
005 20180905190459.0
100 # # $a 20070303d1980 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Измерение толщины тонких пленок методом рентгеноструктурного анализа  $f К. А. Кузнецов  $g [редактор Э. О. Игошина] 
210 # # $a Москва  $c НИАТ  $d 1980 
215 # # $a 23, [1] с.  $c граф., схемы, табл.  $d 29 см 
225 1 # $a Труды Института  $f Научно-исследовательский институт технологии и организации производства  $v № 395 
320 # # $a Библиография: с. 23 (16 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0000419961  $1 2001   $v № 395 
675 # # $a 539.216.2 
700 # 1 $a Кузнецов  $b К. А. 
702 # 1 $a Игошина  $b Э. О.  $4 340 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar3362084  $a Научно-исследовательский институт технологии и организации производства  $c Москва 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180905  $g psbo