|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13420820000 |
| 005 |
20070301144829.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 12 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-10875]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070301d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение пленок и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов
$e Разд. Получение текстур. слоев. Курс лекций для студентов спец. 0643
$f Под ред. В. В. Крапухина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 72 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. физ. химии и технологии полупроводников и особо чистых материалов. Библиогр.: с. 71 (8 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002:537.5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кузнецов
$b Г. Д.
$g Геннадий Дмитриевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070301
$g psbo
|
