Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Рос. АН, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Кузнецов, А. Ю. |
| 出版: | Черноголовка , 1992 |
| 實物描述: |
22 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||