Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Рос. АН, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Кузнецов, А. Ю. |
| Published: | Черноголовка , 1992 |
| Physical Description: |
22 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||