Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Рос. АН, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Кузнецов, А. Ю. |
| Veröffentlicht: | Черноголовка , 1992 |
| Beschreibung: |
22 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||