Эффекты дальнодействия при ионной имплантации и импульсном лазерном отжиге германия и кремния: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т общ. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Куземченко, Т. А. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13387430000 | ||
| 005 | 20070302135210.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [89-14757а] |
| 100 | # | # | $a 20070302d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Эффекты дальнодействия при ионной имплантации и импульсном лазерном отжиге германия и кремния $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Ин-т общ. физики |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-25 (27 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Куземченко $b Т. А. $g Татьяна Анатольевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070302 $g psbo |