Исследование и разработка методики контроля точности технологических процессов крупносерийного производства интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крылов, В. П. |
| Опубликовано: | М. , 1983 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13287630000 | ||
| 005 | 20070301134945.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070301d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка методики контроля точности технологических процессов крупносерийного производства интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. авиац. ин-т им. Серго Орджоникидзе. Библиогр.: с. 20-22 (10 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.382.8 |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Крылов $b В. П. $g Владимир Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070301 $g psbo |