Разработка технологии неразрушающего контроля качества конденсаторных структур гибридных интегральных схем: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крутиков, Л. Н. |
| Опубликовано: | Л. , 1981 |
| Физические характеристики: |
17 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13271810000 | ||
| 005 | 20070301134745.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [81-7627а] |
| 100 | # | # | $a 20070301d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка технологии неразрушающего контроля качества конденсаторных структур гибридных интегральных схем $e (05.12.13) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 17 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 16-17 (6 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Крутиков $b Л. Н. $g Леонид Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070301 $g psbo |