Формирование и свойства плазмохимических и ионно-лучевых пленок нитрида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крузе, Т. А. |
| Опубликовано: | Горький , 1977 |
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13248820000 | ||
| 005 | 20200226101055.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070301d1977 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Формирование и свойства плазмохимических и ионно-лучевых пленок нитрида кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1977 |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 20-21 (7 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Крузе $b Т. А. $g Татьяна Александровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070301 $g psbo |