Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов и особо чистых металлов : Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. Ч. 3 : Основы тепло- и массопередачи: [МИС и С]

Сохранено в:
Шифр документа: АН870176,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1974
Физические характеристики: 159 с. : черт.
Язык: Русский
Предмет:
00000nam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr13084860002
005 20070227161858.0
010 # # $d 27 к. 
021 # # $a RU  $b [74-100460] 
100 # # $a 20070227d1974 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
200 1 # $a Основы тепло- и массопередачи  $e [МИС и С] 
210 # # $d 1974 
215 # # $a 159 с.  $c черт. 
300 # # $a Список лит.: с. 157 (14 назв.) 
345 # # $9 230 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr13084860000  $1 2001   $v Ч. 3 
610 0 # $a Полупроводники - Получение 
675 # # $a 621.315.592.002(075.8) 
701 # 1 $a Соколов  $b И. А. 
701 # 1 $a Кожитов  $b Л. В.  $g Лев Васильевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070227  $g psbo 
830 # # $a АН870176;