Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов : Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. Ч. 2 : Вакуумная техника
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1974 |
| Физические характеристики: |
120 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
Загрузка