Исследование и разработка алгоритмов оптимального управления технологическими процессами при производстве полупроводниковых материалов: (На прим. кремниевых структур с диэлектр. изоляцией)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коросташев, В. А. |
| Опубликовано: | Харьков , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||