Исследование и разработка алгоритмов оптимального управления технологическими процессами при производстве полупроводниковых материалов: (На прим. кремниевых структур с диэлектр. изоляцией)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коросташев, В. А. |
| Опубликовано: | Харьков , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12815640000 | ||
| 005 | 20070222185810.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070222d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка алгоритмов оптимального управления технологическими процессами при производстве полупроводниковых материалов $e (На прим. кремниевых структур с диэлектр. изоляцией) |
| 210 | # | # | $a Харьков $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18-19 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 700 | # | 1 | $a Коросташев $b В. А. $g Владимир Андреевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070222 $g psbo |