|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12723600000 |
| 005 |
20070221172116.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 35 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-35494]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070221d1977 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диэлектрические пленки в микроэлектронике
$f В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 367 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Электронное материаловедение
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с 344-365 (389 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 7000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектроника
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Корзо
$b В. Ф.
$g Виктор Федорович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Черняев
$b В. Н.
$g Владимир Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070221
$g psbo
|
