Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов

Сохранено в:
Шифр документа: АН820797, АУ467359,
Вид документа: Книги
Автор: Концевой, Ю. А.
Опубликовано: М. : Энергия , 1973
Физические характеристики: 142 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Б-ка радиотехнолога Вып. 2
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr12651370000
005 20070220165106.0
010 # # $d 40 к. 
021 # # $a RU  $b [73-84947] 
100 # # $a 20070220d1973 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1973 
215 # # $a 142 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Б-ка радиотехнолога  $v Вып. 2 
300 # # $a Список лит.: с. 132-140 (134 назв.) 
345 # # $9 7000 экз. 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Технический контроль 
675 # # $a 621.382.002:658.562 
700 # 1 $a Концевой  $b Ю. А.  $g Юлий Абрамович 
701 # 1 $a Кудин  $b В. Д.  $g Владимир Дмитриевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070220  $g psbo