Дефекты кремниевых структур и приборов : Справ. материалы : [В 2 ч.] / М-во электрон. пром-сти СССР. Ч. 2 : Основные технологические операции

Сохранено в:
Шифр документа: 222734,
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 68 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr12651330002
005 20180720092951.0
010 # # $d 90 к. 
021 # # $a RU  $b [88-336] 
100 # # $a 20070220d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
200 1 # $a Основные технологические операции 
215 # # $a 68 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 61-68 (130 назв.) 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr12651330000  $1 2001   $v Ч. 2 
610 0 # $a Кремний - Дефекты 
610 0 # $a Полупроводники - Электрические свойства - Влияние способа получения 
675 # # $a 548.4+621.382:548.4](035.5) 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070220  $g psbo