Дефекты кремниевых структур и приборов : Справ. материалы : [В 2 ч.] / М-во электрон. пром-сти СССР. Ч. 1 : Базовые процессы подготовки кремниевых пластин и апитаксиальных структур
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Физические характеристики: |
43 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||