Схожие документы

• Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Кирюшина Ирина Васильевна. - Москва, 2003. - 21 c.
  Автор: Кирюшина, И. В.
  Опубликовано: (2003)
• Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Козлов Юрий Федорович. - М., 2002. - 43 с.
  Автор: Козлов, Ю. Ф.
  Опубликовано: (2002)
• Дефекты кремниевых структур и приборов: Справ. материалы : [В 2 ч.] / М-во электрон. пром-сти СССР. - М. : ЦНИИ «Электроника», 1987
  Автор: Концевой, Ю. А.
  Опубликовано: (1987)