Электронная библиотека Национальной библиотеки Беларуси находится в тестовом режиме
Дефекты кремниевых структур и приборов : Справ. материалы : [В 2 ч.] / М-во электрон. пром-сти СССР. Ч. 1 : Базовые процессы подготовки кремниевых пластин и апитаксиальных структур
