|
|
|
|
|
00000cam2a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12651320002 |
| 005 |
20180720151139.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 58 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-568]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070220d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 200 |
1 |
# |
$a Базовые процессы подготовки кремниевых пластин и апитаксиальных структур
|
| 215 |
# |
# |
$a 43 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 39-43 (86 назв.)
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr12651320000
$1 2001
$v Ч. 1
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний - Дефекты
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Электрические свойства - Влияние способа получения
|
| 675 |
# |
# |
$a 548.4+621.382:548.4](035.5)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070220
$g psbo
|
