Исследование процессов разделения монокристаллических пластин на заготовки ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колеров, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1980 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12406930000 | ||
| 005 | 20070214155335.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070214d1980 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процессов разделения монокристаллических пластин на заготовки ИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1980 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 24-25 (5 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Колеров $b В. А. $g Владимир Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070214 $g psbo |