Исследование и разработка высокоэффективных технологических процессов диффузии примесей в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ367816СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Коледов, Л. А.
Опубликовано: М. , 1979
Физические характеристики: 52 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr12405140000
005 20070214155335.0
100 # # $a 20070214d1979 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование и разработка высокоэффективных технологических процессов диффузии примесей в кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e (05.12.18) 
210 # # $a М.  $d 1979 
215 # # $a 52 с. 
300 # # $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 49-52 (55 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Коледов  $b Л. А.  $g Леонид Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070214  $g psbo