Устройства автоматизации технологического оборудования микроэлектроники: Учеб. пособие по курсу "ФУАТОМ"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кожевников, А. П. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
92 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12272090000 | ||
| 005 | 20150622111204.0 | ||
| 010 | # | # | $d 28 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [85-38369] |
| 100 | # | # | $a 20070213d1984 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Устройства автоматизации технологического оборудования микроэлектроники $e Учеб. пособие по курсу "ФУАТОМ" |
| 210 | # | # | $a М. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 92 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электр. техники. Библиогр.: с. 90 (8 назв.) |
| 345 | # | # | $9 150 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.38.002.5:65.011.56(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Кожевников $b А. П. $g Анатолий Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070213 $g psbo |