Неразрушающий послойный анализ атомного строения поверхностных слоев кремния и диоксида кремния методом ультрамягкой рентгеновской рефлектометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / Санкт.-Петербург. гос. ун-т

Сохранено в:
Шифр документа: 179302/92,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кожахметов, С. К.
Опубликовано: СПб. , 1992
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr12269990000
005 20070213142038.0
100 # # $a 20070213d1992 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Неразрушающий послойный анализ атомного строения поверхностных слоев кремния и диоксида кремния методом ультрамягкой рентгеновской рефлектометрии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.07)  $f Санкт.-Петербург. гос. ун-т 
210 # # $a СПб.  $d 1992 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16 (7 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Кожахметов  $b С. К.  $g Серик Касымович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070213  $g psbo