Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Рос. акад. наук, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Ковешников, С. В. |
| Published: | пос. Черноголовка (Моск. обл.) , 1992 |
| Physical Description: |
18 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||