|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12235800000 |
| 005 |
20070213141309.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [92-5301а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070213d1992 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки
$e (05.27.01)
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$f Рос. акад. наук, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
|
| 210 |
# |
# |
$a пос. Черноголовка (Моск. обл.)
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-18 (18 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ковешников
$b С. В.
$g Сергей Викторович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070213
$g psbo
|
