Моделирование методом Монте-Карло процесса взаимодействия электронного пучка с многослойными структурами в электронной литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (**5.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковальчук, Е. В. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12226860000 | ||
| 005 | 20070213141208.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070213d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование методом Монте-Карло процесса взаимодействия электронного пучка с многослойными структурами в электронной литографии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (**5.27.01) $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22-23 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a **5.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ковальчук $b Е. В. $g Елена Валентиновна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070213 $g psbo |