Теоретические основы проектирования, создания и освоения вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Ковалёв, Л. К. |
| Veröffentlicht: | М. , 1985 |
| Beschreibung: |
35 с.
|
| Sprache: | Russisch |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||