Теоретические основы проектирования, создания и освоения вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Ковалёв, Л. К. |
Опубликовано: | М. , 1985 |
Физические характеристики: |
35 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr12180950000 | ||
005 | 20070208165351.0 | ||
100 | # | # | $a 20070208d1985 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Теоретические основы проектирования, создания и освоения вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.27.07) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
210 | # | # | $a М. $d 1985 |
215 | # | # | $a 35 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 31-38 (38 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Ковалёв $b Л. К. $g Лев Кузьмич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070208 $g psbo |