Теоретические основы проектирования, создания и освоения вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения

Сохранено в:
Шифр документа: 3200/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ковалёв, Л. К.
Опубликовано: М. , 1985
Физические характеристики: 35 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr12180950000
005 20070208165351.0
100 # # $a 20070208d1985 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Теоретические основы проектирования, создания и освоения вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e (05.27.07)  $f Моск. ин-т электрон. машиностроения 
210 # # $a М.  $d 1985 
215 # # $a 35 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 31-38 (38 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Ковалёв  $b Л. К.  $g Лев Кузьмич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070208  $g psbo