Оптимизация процесса производства кремниевых эпитаксиальных структур со скрытыми диффузионными слоями с использованием анизотропии роста: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Кирюхин, В. А. |
| Veröffentlicht: | М. , 1983 |
| Beschreibung: |
22 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||