Разработка и исследование алгоритмов оптимального управления процессом получения эпитаксиальных структур германия: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.13.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кибардин, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11878820000 | ||
| 005 | 20070206182042.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070206d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование алгоритмов оптимального управления процессом получения эпитаксиальных структур германия $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.13.07) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 22 |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кибардин $b В. В. $g Владимир Вячеславович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070206 $g psbo |