Особенности диффузии примесей в кремнии при ионной бомбардировке: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карманов, В. Т. |
| Опубликовано: | Горький , 1976 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11624960000 | ||
| 005 | 20070130180004.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [76-8194а] |
| 100 | # | # | $a 20070130d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Особенности диффузии примесей в кремнии при ионной бомбардировке $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит. в конце текста (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Карманов $b В. Т. $g Виктор Тимофеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070130 $g psbo |