Окисление кремния в присутствии паров соляной кислоты: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (35.27.06) / Моск. ин-т электрон. пром-сти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Канорушкин, И. П. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11492570000 | ||
| 005 | 20070129142158.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070129d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Окисление кремния в присутствии паров соляной кислоты $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (35.27.06) $f Моск. ин-т электрон. пром-сти |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 25 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 35.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Канорушкин $b И. П. $g Игорь Петрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070129 $g psbo |