Учебное пособие по курсу «Технология и конструирование РТУ»: Технология пр-ва интегр. микросхем / Ред. К. К. Морозов

Сохранено в:
Шифр документа: М169468,
Вид документа: Книги
Автор: Кандырин, Ю. В.
Опубликовано: М. : МЭИ , 1981
Физические характеристики: 87 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr11482800000
005 20070129142051.0
010 # # $d 17 к. 
021 # # $a RU  $b [81-80134] 
100 # # $a 20070129d1981 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Учебное пособие по курсу «Технология и конструирование РТУ»  $e Технология пр-ва интегр. микросхем  $f Ред. К. К. Морозов 
210 # # $a М.  $c МЭИ  $d 1981 
215 # # $a 87 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Загл. обл.: Технология производства интегральных микросхем. Библиогр. в конце текста (6 назв.) 
345 # # $9 300 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
675 # # $a 621.382.049.77.002(075.8) 
700 # 1 $a Кандырин  $b Ю. В.  $g Юрий Владимирович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070129  $g psbo