|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11462730000 |
| 005 |
20070129141945.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-8706а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070129d1988 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии
$e (01.04.03)
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$f Ун-т дружбы народов им. Патриса Лумумбы
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Изд-во Ун-та дружбы народов
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 10, [1] с.
$c граф.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 10-11 (8 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.03
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кампс Карвахаль
$b Э. Э.
$g Эдгар Энрике
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070129
$g psbo
|
