Исследование ионно-облученных кремниевых пленок оптическими методами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Каландадзе Теймураз Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ440497,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Каландадзе, Т. М.
Опубликовано: Киев , 1982
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ
ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-rr11348220000
005 20150430150631.0
100 # # $a 20070124d1982 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование ионно-облученных кремниевых пленок оптическими методами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков  $f Каландадзе Теймураз Михайлович  $g Академия наук Украинской ССР, Институт полупроводников 
210 # # $a Киев  $d 1982 
215 # # $a 17 с. 
320 # # $a Библиография: с. 16—17 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21841  $a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130309  $a ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55517  $a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.216.2:537.311.322:539.1.043-047.37(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.38-03:621.315.592-026.762:546.28(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8370425  $a Каландадзе  $b Т. М.  $g Теймураз Михайлович  $c физика полупроводников 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar199059  $a Белорусский политехнический институт  $c Минск  $c 1960—1991  $4 955 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar4048797  $a Грузинский политехнический институт имени В. И. Ленина  $c Тбилиси  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar8865645  $a Институт полупроводников  $c Киев  $4 995  $4 595 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070124  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-rr11348220000&fileID=1116416 

Схожие документы