Синтез карбида кремния в кремнии методом ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каздаев, Х. Р. |
| Опубликовано: | Алма-Ата , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11319530000 | ||
| 005 | 20070124162122.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070124d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a KZ |
| 200 | 1 | # | $a Синтез карбида кремния в кремнии методом ионной имплантации $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.07) |
| 210 | # | # | $a Алма-Ата $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН КазССР, Ин-т ядер. физики. Библиогр.: с. 18-19 (7 назв.) |
| 675 | # | # | $a 621.315.592:537.534 |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Каздаев $b Х. Р. $g Хамза Рахметович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070124 $g psbo |