Статическое электричество в полупроводниковой промышленности / В. А. Каверзнев, А. А. Зайцев, Ю. А. Овечкин

Сохранено в:
Шифр документа: АНД902873, АР410378, АУ510899,
Вид документа: Книги
Автор: Каверзнев, В. А.
Опубликовано: М. : Энергия , 1975
Физические характеристики: 113 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr11245370000
005 20070118200848.0
010 # # $d 30 к. 
021 # # $b [75-76921] 
100 # # $a 20070118d1975 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Статическое электричество в полупроводниковой промышленности  $f В. А. Каверзнев, А. А. Зайцев, Ю. А. Овечкин 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1975 
215 # # $a 113 с.  $c ил.  $d 21 см 
300 # # $a Список лит.: с. 110-112 (58 назв.) 
345 # # $9 6000 экз. 
610 0 # $a Электричество статическое в производствах 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Электростатические свойства 
675 # # $a 621.382.002:621.319.74 
700 # 1 $a Каверзнев  $b В. А.  $g Владимир Александрович 
701 # 1 $a Зайцев  $b А. А.  $g Анатолий Александрович 
701 # 1 $a Овечкин  $b Ю. А.  $g Юрий Алексеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070118  $g psbo