Состояние и тенденции развития толстопленочной технологии и оборудования

Сохранено в:
Шифр документа: МД38198,
Вид документа: Книги
Автор: Исаев, Ю. В.
Опубликовано: М. : ЦНИИТЭИприборостроения , 1978
Физические характеристики: 56 с. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзор. информ. Экономика и технология приборостроения ТС9
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr11153400000
005 20070115140807.0
010 # # $d 53 к. 
021 # # $b [78-74199] 
100 # # $a 20070115d1978 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Состояние и тенденции развития толстопленочной технологии и оборудования 
210 # # $a М.  $c ЦНИИТЭИприборостроения  $d 1978 
215 # # $a 56 с.  $d 21 см 
225 2 # $a Обзор. информ. Экономика и технология приборостроения  $f ЦНИИ информ. и техн.-экон. исслед. приборостроения, средств автоматизации и систем упр.  $v ТС9 
300 # # $a Авт. указаны на 2-й с. обл. Список лит.: с. 49-55 (112 назв.) 
345 # # $9 2025 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Обзоры литературы информационные 
675 # # $a 621.382.049.772.2.002(048.8) 
700 # 1 $a Исаев  $b Ю. В. 
701 # 1 $a Хоняк  $b Е. И. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070115  $g psbo