Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН УССР. Ин-т полупроводников
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Игнатков, В. Д. |
| Publicado: | Киев , 1973 |
| Descripción Física: |
20 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||