Микроструктурное исследование процесса электрополирования кремния: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. хим. наук / Объедин. учен. совет по хим. наукам Отд-ния хим.-технол. и биол. наук АН УзССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванова, Т. К. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1966 |
| Физические характеристики: |
24 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10916050000 | ||
| 005 | 20070104163317.0 | ||
| 021 | # | # | $b [66-38893] |
| 100 | # | # | $a 20070104d1966 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Микроструктурное исследование процесса электрополирования кремния $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. хим. наук $f Объедин. учен. совет по хим. наукам Отд-ния хим.-технол. и биол. наук АН УзССР |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1966 |
| 215 | # | # | $a 24 с. $c черт. |
| 610 | 0 | # | $a Кремний - Полирование электрохимическое |
| 700 | # | 1 | $a Иванова $b Т. К. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070104 $g psbo |