Разработка методов и аппаратуры для эллипсометрического контроля параметров полупроводниковых эпитаксиальных структур и диэлектрических покрытий: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зудков, Н. М. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||